меню
Горизонтальная печь химического осаждения из газовой фазы (осаждение карборунда) предназначена для возникновения коррозиеустойчивыех покрытий на поверхности углеродных материалов или улучшения свойства их подложки трихлормоносиланом (MTS) в качестве источника газа.
запросНазначение
Горизонтальная печь химического осаждения из газовой фазы (осаждение карборунда) предназначена для возникновения коррозиеустойчивыех покрытий на поверхности углеродных материалов или улучшения свойства их подложки трихлормоносиланом (MTS) в качестве источника газа.
Модели и параметры горизонтальной печи для ССЗ
| Модели / параметры | HCVD-060609-SIC | HCVD-101015-SIC | HCVD-121220-SIC | HCVD-151530-SIC | HCVD-252035-SIC |
| Размер рабочей зоны Ш×В×Д (мм) | Φ600 × 600 × 900 | Φ1000 × 1000 × 1500 | Φ1200 × 200 × 2000 | Φ1500 × 500 × 3000 | Φ2500 × 2000 × 3500 |
| Макс. температура(℃) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| Однородность температуры (℃) | ±7.5 | ±7.5 | ±10 | ±10 | ±10 |
| Предельный вакуум (Па) | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| Скорость увеличения давления (Па/ч) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| Вышеуказанные характеристики могут изменяться согласно технологическим требованиям заказчика, они не являются стандартами для приема, подробные характеристики будут подтверждены в техническом предложении и контракте. | |||||
Технические особенности горизонтальной печи для ССЗ
1. С использованием самой передовой технологии управления. Можно точно контролировать поток и давление MTS. Поток осаждения является стабильным и давление колеблется в узком диапазоне.
2. Имеется особая камера осаждения с высокой герметичностью и защитой от загрязнения.
3. Используются несколько каналов осаждения газа, без застойных зон, с хорошим эффектом осаждения.
4. Горизонтальная печь химического осаждения имеет функцию удаления коррозионных отходящих газов, горючих и взрывоопасных газов, твердой пыли и липких материалов низкого плавления в процессе осаждения.
5. С использованием новейшей конструкции коррозионностойких вакуумных насосов, увеличивая их живучесть и сокращая время технического обслуживания.
6. Размер рабочей зоны печи может достигать 2,5 м × 2,5 м × 5 м, что подходит для CVD обработки больших деталей.
Конфигурация горизонтальной печи для ССЗ
1. Двери печи:дверца на петлях/рама на колёсах, ручное запирание/автоматический кольцевой затвор.
2. Корпус печи:полностью углеродистая сталь/внутренняя нержавеющая сталь/полностью нержавеющая сталь
3. Камера печи:мягкий углеродный войлок/мягкий графитовый войлок/жесткий композитный войлок /CFC
4. Нагреватель, муфель:HIP-прессованный графит/прессованный графит высокой чистоты, высокой прочности и высокой плотности/ графит мелких размеров
5. Пневматическая система: объемный расходомер/масс-расходомер, ручной/автоматический клапан, импортная/китайская марка
6. Вакуумный насос и вакуумметр:импортная/китайская марка
7. PLC: OMRON/SIEMENS
8. Контроллер температуры горизонтальной печи химического осаждения:SHIMADEN/EUROTHERM
9. Термопара:C тип/ S тип/ K тип/ N тип
10. Регистратор:безбумажный/ бумажный; импортная/китайская марка
11. HMI(интерфейс): аналоговый экран/сенсорный экран/промышленный компьютер
12. Электрические элементы:CHINT/SCHNEIDER/SIEMENS
13. Тележка:ролик погрузчик/вилочный погрузчик/складная конструкция
Основанная в 2006 году, компания АСМЕ(Advanced Corporation for Materials & Equipments) является «национальным ключевым высокотехнологичным предприятием», специализирующимся на разработке и производстве термического оборудования и специальных материалов, партнером в аэрокосмической промышленности Китая.
